鎢電極研磨工藝的機械化-《電焊機》2004年09期
2004年(nian)9月23日-鎢(wu)電極研磨工藝機械化焊接(jie)電極頭(tou)表面粗糙度(du)焊接(jie)工藝研磨機幾何形狀研磨砂輪焊縫質量。
一種減少鎢化學機械研磨微刮痕的工藝-200410066764-錢眼
一種減少鎢化學(xue)機械研磨微(wei)刮痕的工藝,提(ti)供一半(ban)導體基(ji)底,其制作鎢插塞的主要(yao)步(bu)驟有光(guang)阻涂布、微(wei)影,蝕刻。
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黝圖1-6銅化(hua)學機械拋(pao)光工藝(yi)流程圖1-7雙(shuang)嵌入形成鎢(wu)插塞(sai)和局部互連1.3鎢(wu)鑲嵌圖3—2拋(pao)光速(su)率(lv),均勻性(xing)和研磨(mo)臺轉速(su)的依(yi)存性(xing)(32藝(yi)條件拋(pao)光頭壓(ya)力-250hap;。
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一種改善接觸(chu)孔(kong)之鎢(wu)化學機械研磨后平坦性(xing)的(de)方(fang)法,包(bao)括:步驟S1:在硅基襯底上制備前道器件和絕(jue)緣(yuan)(yuan)介(jie)質(zhi)層;步驟S2:在接觸(chu)絕(jue)緣(yuan)(yuan)介(jie)質(zhi)層上淀(dian)積對鎢(wu)金屬具(ju)有高研磨選擇比的(de)。
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