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化學機械研磨工藝中的銅腐蝕研究-《復旦大學》2009年碩士論文

銅(tong)在化學機械(xie)研磨面(mian)臨的銅(tong)腐蝕問(wen)題使得(de)產(chan)品良率(lv)和可靠性(xing)都受到威脅。本文(wen)通過(guo)實(shi)驗(yan),量化研究了(le)生產(chan)過(guo)程(cheng)中的防腐蝕問(wen)題,并通過(guo)實(shi)驗(yan)得(de)到了(le)局(ju)部的腐蝕防止辦法,研磨前的。

RTPC在銅化學機械研磨工藝中的應用-《集成電路應用》2009年11期

研磨過(guo)程光學信號工藝(yi)要求反(fan)射率銅(tong)薄膜晶(jing)(jing)圓控制系統剖面工藝(yi)參數嵌入式關鍵詞:研磨過(guo)程光學信號工藝(yi)要求反(fan)射率銅(tong)薄膜晶(jing)(jing)圓控制系統剖面。

八英寸銅化學機械研磨工藝對硅片腐蝕的改善-收費碩士博士論文-

論文天下(xia)提(ti)供的<八英寸(cun)銅化學(xue)機械研磨(mo)(mo)工藝對硅片腐(fu)蝕的改善;論文包括Cu-CMP腐(fu)蝕缺(que)陷研磨(mo)(mo)頭研磨(mo)(mo)盤等(deng)其(qi)他相關內容論文。

水平震蕩機械研磨電鍍銅工藝研究-水平震蕩,機械研磨,電沉積-表面

[圖(tu)文]2011年(nian)4月28日(ri)-利用SEM和XRD考察了玻璃球(qiu)數量與震蕩頻(pin)率對(dui)機(ji)械研(yan)磨電鍍(du)工(gong)藝的影響,并探討在電沉積過(guo)程中,燒(shao)杯內的玻璃球(qiu)不斷(duan)在試樣表(biao)面運動,施加機(ji)械研(yan)磨。1。

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[圖(tu)文]2012年5月14日-水平震蕩(dang)機械研(yan)磨電(dian)鍍(du)銅層具有擇優取(qu)向,但(dan)擇優取(qu)向程度受(shou)水平震蕩(dang)條件(jian)影響。1)在傳統(tong)酸性鍍(du)銅過程中,施加水平震蕩(dang)機械研(yan)磨可(ke)使鍍(du)層晶粒顯著均勻細化,。

鉬礦選礦浮選及研磨工藝流程_鄭州市金馬礦山機械有限公司

鉬(mu)(mu)礦選礦浮(fu)選及研磨工藝流程作者:金馬機械日期:2012-8-6瀏覽次數:175標簽為保證鉬(mu)(mu)精礦質(zhi)量,對鉬(mu)(mu)精礦中所含的銅、鉛、鐵等重(zhong)金屬礦物(wu)和(he)氧化(hua)鈣以(yi)及炭質(zhi)。

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銅礦(kuang)選礦(kuang)工藝流程(1)浸染(ran)狀(zhuang)銅礦(kuang)石的浮(fu)選一般采(cai)用(yong)比較(jiao)簡單的流程,經(jing)一段磨(mo)礦(kuang)(球(qiu)磨(mo)機),細度-200網(wang)目約占(zhan)50%70%,1次粗選,23次精選,1。

RTPC在銅化學機械研磨工藝中的應用-期刊論文-道客巴巴

[供(gong)]供(gong)應金工鉛(qian)鋅銅硫礦(kuang)(kuang)礦(kuang)(kuang)石的選(xuan)(xuan)礦(kuang)(kuang)08/17[供(gong)]金工新(xin)工藝鋅浮(fu)選(xuan)(xuan)設(she)備鋅浮(fu)選(xuan)(xuan)工藝流程08/17[供(gong)]精(jing)彩(cai)金工銻精(jing)粉選(xuan)(xuan)礦(kuang)(kuang)設(she)備氧化(hua)銻。

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銅精粉品位達(da)到45%選金設(she)備(bei)(bei)鞏義市宋(song)陵礦山機(ji)(ji)(ji)械(xie)有有限公司://.gyslks銅礦設(she)備(bei)(bei)相關行業粉碎(sui)機(ji)(ji)(ji)破碎(sui)機(ji)(ji)(ji)球磨(mo)機(ji)(ji)(ji)砂磨(mo)機(ji)(ji)(ji)研磨(mo)機(ji)(ji)(ji)其他粉碎(sui)設(she)備(bei)(bei)銅礦設(she)備(bei)(bei)。

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本發明公開了(le)一(yi)種(zhong)在(zai)銅(tong)化學(xue)機械研磨工藝中減少晶片(pian)被腐(fu)蝕的(de)(de)方法,它可以(yi)在(zai)晶片(pian)等待從研磨設(she)備轉移到清洗裝置(zhi)期間(jian),有效的(de)(de)清洗掉黏附在(zai)晶片(pian)上的(de)(de)研磨液,進而達(da)到防止研磨。

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晶(jing)圓(yuan)技(ji)術(shu)(shu)(shu)工(gong)藝薈萃-機械研(yan)磨類技(ji)術(shu)(shu)(shu)工(gong)藝全(quan)集本套晶(jing)圓(yuan)技(ji)術(shu)(shu)(shu)系列(lie)技(ji)術(shu)(shu)(shu)全(quan)文,全(quan)部在(zai)2張[HT22537-0105-0240]可去除半(ban)導體晶(jing)圓(yuan)表面(mian)銅氧化物及水氣的系統與工(gong)藝流程[HT。

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河南鼎豐(feng)機(ji)械選銅設備(bei)的生產工(gong)藝流程分享到:產品(pin)類(lei)別:其他(ta)產品(pin)商標:所在(zai)合理細度后經由(you)提升機(ji)、給礦機(ji)均勻送入球(qiu)磨(mo)(mo)機(ji),由(you)球(qiu)磨(mo)(mo)機(ji)對礦石進行(xing)破碎(sui)、研磨(mo)(mo)。

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所(suo)屬(shu)區(qu)域:河(he)南省鄭州(zhou)市關鍵詞:工藝(yi)流程(cheng)選銅(tong)設備(bei)項目簡介河(he)南鼎(ding)豐(feng)機(ji)械經過球磨機(ji)研磨的礦石細料(liao)進入下一道工序:分(fen)(fen)級(ji)。螺旋分(fen)(fen)級(ji)機(ji)借助固體顆粒的比重(zhong)。

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節(jie)能球(qiu)磨(mo)機的(de)兩(liang)種研(yan)磨(mo)工藝(yi)流程的(de)信息,資料(liao),詳細說明售后服(fu)務,其節(jie)能球(qiu)磨(mo)機更(geng)是水泥行業(ye)等(deng)多行業(ye)的(de)重(zhong)要設備,豫暉專(zhuan)家研(yan)究節(jie)能球(qiu)磨(mo)機有兩(liang)個大的(de)研(yan)磨(mo)工藝(yi):圈流。

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在(zai)傳統(tong)酸性鍍(du)銅液(ye)中加入玻璃球(qiu),利用(yong)SEM和XRD考察了玻璃球(qiu)數量與震(zhen)蕩(dang)頻率(lv)對(dui)機(ji)械研磨電鍍(du)工藝的影響,并(bing)探討了水平震(zhen)蕩(dang)頻率(lv)和玻璃球(qiu)數量對(dui)鍍(du)層(ceng)微觀結(jie)構的影響機(ji)理(li)。實驗。

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2012年(nian)12月14日-鄭州市鑫順(shun)選(xuan)(xuan)礦機械制造有限公司生(sheng)產選(xuan)(xuan)礦設(she)備(bei)、破(po)碎設(she)備(bei),研磨(mo)粉碎設(she)備(bei),如銅(tong)礦物浸染粒度比較細,可考慮采用階段磨(mo)選(xuan)(xuan)流程。處理斑銅(tong)礦的選(xuan)(xuan)礦廠,。

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而采用(yong)上述(shu)鍍銅(tong)溶液(ye)(ye)進(jin)行化(hua)學(xue)鍍銅(tong)的工藝方(fang)法,其(qi)工藝流程(cheng)即為:塑料板材粗化(hua)活化(hua)→007一種用(yong)于銅(tong)制程(cheng)的化(hua)學(xue)機(ji)械研磨液(ye)(ye)組(zu)合物(wu)090銅(tong)化(hua)學(xue)機(ji)械研磨方(fang)法039用(yong)于。

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RTPC在銅化學(xue)機(ji)械研磨工藝(yi)(yi)中的(de)應用,徐穎;,集成(cheng)電(dian)路應用。<正;在銅CMP工藝(yi)(yi)中,為(wei)了去除多余(yu)的(de)銅金屬而形成(cheng)嵌入(ru)式銅互聯結構,分(fen)別應用電(dian)磁和光學(xue)信號于(yu)和第。

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銅互連和低K材(cai)料是半導體深(shen)亞微米工(gong)(gong)藝中涉及的(de)兩個重要的(de)技(ji)術,而這(zhe)兩種(zhong)新技(ji)術的(de)發展(zhan)也給傳統的(de)化學機(ji)械研(yan)磨(CMP)工(gong)(gong)藝提出了挑戰。

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RTPC在銅化學機械研磨工藝中的應用-《集成電路應用》2009年第11期

本(ben)文針對先進銅(tong)互連(lian)技(ji)術中存(cun)在的(de)(de)一些問(wen)題(ti),具體研究了(le)銅(tong)化學機械研磨工<br/;藝(yi)的(de)(de)特性,提出了(le)幾種(zhong)工藝(yi)優化方法,使得(de)產品通過了(le)終的(de)(de)可靠性驗證(zheng)。全文<br/;得(de)到的(de)(de)。

先進銅化學機械研磨技術半導體工藝突破65nm節點-模擬設計-EDN

先進(jin)銅化(hua)學機械(xie)研磨技(ji)(ji)術半導體工藝突破65nm節(jie)點出(chu)自《EDNCHINA電子設計技(ji)(ji)術》2004年第8期。該刊暫未被《中(zhong)文科技(ji)(ji)期刊數據庫》收錄,故無(wu)法提供全(quan)文下(xia)載。

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關于錐孔銅套研磨的(de)工(gong)藝試驗,胡克庭(ting);羅廣鳴;徐弘(hong);-機械(xie)制造1986年第(di)05期在(zai)線閱讀、文章(zhang)下載。<正;我廠生(sheng)產的(de)外圓磨床優(you)MG1432頭架軸(zhou)承系(xi)采用立(li)級內錐式。

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關于錐孔銅套研磨的工藝試驗-《機械制造》1986年05期-中國知網

跳線(xian)生產線(xian)廠家解(jie)答加工(gong)(gong)工(gong)(gong)藝流(liu)程和連接頭研磨的(de)方式光(guang)纖(xian)是光(guang)通(tong)訊中基(ji)本及重要的(de)一個組成部份(fen),光(guang)纖(xian)一詞是光(guang)導(dao)纖(xian)維(wei)的(de)簡稱。光(guang)纖(xian)的(de)首要資料是石英玻(bo)璃,所(suo)以事實上。

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2013年1月24日-當今世界,一半以(yi)上的(de)銅用于電力和電訊工業,因而通過(guo)球磨機研磨的(de)礦(kuang)石細料進入下一道工序:分級經由磁力和機械力將(jiang)混合猜中的(de)磁性物(wu)質(zhi)別脫(tuo)離來。

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一種(zhong)銅金屬層化學機械(xie)拋光后的(de)表面處(chu)理(li)方法(fa),包括:提(ti)供半(ban)導體襯底,所述半(ban)導體本發明通過對工藝流程的(de)簡單調整(zheng),避免了銅表面的(de)氧(yang)化以及(ji)銅離子在介質層中的(de)漂移。

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[圖文]有色金(jin)屬(shu)礦(kuang)石(shi)的選礦(kuang),如銅(tong)、鉛、鋅、硫、鉬等礦(kuang)選錳:機械選(包括選礦(kuang)、篩分、重選、強磁(ci)選和浮選)磨粉工藝(yi)流程建材設備水泥磨礦(kuang)渣磨活性石(shi)灰(hui)。

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常州(zhou)市泰創機(ji)械設備(bei)有(you)限公司(si)專業(ye)生(sheng)產各種(zhong)磁力研(yan)磨(mo)(mo)機(ji)、磁力拋光(guang)機(ji)及相關配套本品(pin)適用于磁力研(yan)磨(mo)(mo)拋光(guang)助力劑。工藝流(liu)程:除油→清水洗(xi)→磁力研(yan)磨(mo)(mo)拋光(guang)。

球磨機磨礦系統工藝流程鄭州銀海機械設備有限公司

[圖文]經過球磨機研磨的礦石細料進入下一道工序:分級(ji)。由于(yu)各(ge)種(zhong)礦物的比磁化系數不同,經由磁力和機械力將如銅礦物浸染粒度比較細,可(ke)考慮(lv)采用階(jie)段磨選流程。

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